急速に進化する半導体業界において、検査技術の高度化は不可欠です。
中でも、ウエーハテストに使用されるプローブカードは、微細化・高集積化に伴い、その重要性がますます高まっています。

今回は、韓国に本拠を構えるPRO-L社の研磨を含む加工技術と製品の特長に迫ります。

企業概要：信頼と実績を持つプローブカード専業メーカー

PRO-L社は、プローブカードおよび関連測定装置の設計・製造を手がける韓国企業です。ファインピッチ領域（最小12μm）にも対応可能な高密度プローブ技術を保有しており、国内外の主要な半導体メーカーやパネルメーカーから高い評価を得ています。

主力製品群は以下の通りです：

技術力：12μm対応のファインピッチ、多彩なニードル素材に対応

PRO-L社のプローブカードは、メモリ・ロジックICだけでなく、OLED、LCD、FPC、PCB、LEDテストにも幅広く対応しています。以下の特長が挙げられます：

これらの技術により、チップレベルからセルレベルまでの幅広い工程で、安定した検査品質が実現されています。

PRO-L社では、テスト対象やライン条件に応じて様々な構造を提供しています。

▼ プローブカード製品例

また、用途別にマニュアルプローバー・セミオートプローバー・フルオートステーションまでを自社で開発・提供しており、装置と治具のトータルサポートが可能です。

PRO-L社のもう一つの強みが、プローブ特性評価装置の自社開発です。「PIS：Probe Inspection System」は、以下のような特性測定を一括で実行可能な装置です：

UIも視覚的に優れ、測定値のトレースや履歴管理に適した設計となっています。

回路の微細化・狭ピッチ化が進む中、プローブカードには以下のような新しいニーズが生まれています：

PRO-L社では、こうした要件に対応するため、材料開発や評価工程の高度化にも注力しており、今後の次世代半導体・パワーデバイス検査への展開にも期待が寄せられています。

国内においても、PRO-L社と連携して例えばプローブカード用クリーニングシートの特性評価を共同実施しており、シート材の耐久性や除去性能測定で関係を持っています。最大10,000回のアップダウン試験でのクリーニング安定性能を確認したり、特殊な評価が首社で可能となっています。

韓国のPRO-L社は、プローブカードの設計から製造、評価までを一貫して手がける数少ない専門メーカーの一つです。その高密度対応・評価精度・カスタム提案力は、急速に進化する半導体業界において確かな信頼を築いています。

高精度な接点を支える技術は、これからのAI、5G、パワー半導体の信頼性を担保するインフラそのものです。今後も同社の動向から目が離せません。

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